一、臭氧氧化階段

1、臭氧用量

臭氧與NOx的反應過程是多價態(tài)氮氧化物等并存的混合氣體。隨著臭氧用量的增加，NOx逐步由低價向高價態(tài)轉化，分別為一氧化氮、三氧化二氮、二氧化氮和四氧化二氮、五氧化二氮。因此氧化效果提高并不是呈線性增加。除此之外，臭氧的用量還受到臭氧分解、煙氣組分、吸收液成分等因素的影響，工程中要考慮多個因素對臭氧量進行修正。

 2、臭氧利用效率

臭氧氧化NOx效率的高低，取決于實際反應的量。根據流體力學原理及動態(tài)模擬試驗，煙氣不同形狀煙道中的流態(tài)分布有很大差別，能否實現煙氣和臭氧的充分混合接觸，成為影化效果的關鍵因素響氧。因此臭氧與煙氣混合需要采取臭氧噴射系統(tǒng)或者斡旋切割等方式促進臭氧與煙氣的混合。

 3、氧化反應時間

臭氧氧化NOx的時間大約需要0.05S，反應速度快，但反應前提是充分接觸，因此需要根據煙氣流速和煙道形狀、尺寸選取適合長度的煙道，保證足夠的氧化時間，要結合工程經驗對氧化區(qū)間進行確定計算。

二、噴淋吸收階段

1、吸收劑成分

目前應用比較成熟的是NaOH、氨水、Ca(OH)₂等堿溶液作吸收劑對NOx進行化學吸收，但是不同的吸收劑存在不同的效率，因此工程設計要考慮不同吸收劑對脫硝效果的影響。

2、噴淋吸收時間

NOx的價態(tài)決定了吸收效率。 NO不溶于水；二氧化氮反應時間較長，受PH值影響大；五氧化二氮 反應速度快。但生成五氧化二氮消耗臭氧量比氧化成二氧化氮要多。因此不同條件，綜合考慮臭氧量和吸收時間。

3、吸收液PH值

根據雙模理論，NOx在吸收反應是液相傳質的過程，且受液膜阻力影響，提高傳質效率成為吸收效果的關鍵。PH為堿性時，液相界面OH^-濃度增加有利于NOx的溶解，需兼顧經濟性，合理控制吸收液的PH環(huán)境。

4、噴淋水汽接觸面積

噴淋塔內，反應后的煙氣與水的接觸面積直接決定了能否快速溶于水，噴淋塔的設計也就成了關鍵。